[发明专利]微孔阵列芯片及其制造方法无效
| 申请号： | 200480034519.6 | 申请日： | 2004-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1882838A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 村口笃;岸裕幸;时光善温;近藤佐千子;小幡勤;藤城敏史;横山义之;锅泽浩文;高林外广;谷野克巳 | 申请（专利权）人： | 富山县政府;村口笃;岸裕幸;时光善温;近藤佐千子 |
| 主分类号： | G01N33/53 | 分类号： | G01N33/53;G01N37/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹雪梅 |
| 地址： | 日本富山*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微孔阵列芯片，该微孔阵列芯片在基板的一侧主表面上具有多个微孔，上述微孔具有在一个微孔中仅可容纳一个生物体细胞的形状和尺寸，在与微孔的开口相同的基板表面上具有微孔的标记。还涉及一种微孔阵列芯片，该微孔阵列芯片在基板的一侧主表面上具有多个微孔，上述微孔具有在一个微孔中仅可容纳一个生物体细胞的形状和尺寸，上述微孔的开口部具有突起部，使开口部变狭窄。又涉及上述微孔阵列芯片的制造方法，该方法具有以下步骤：在基板的至少一侧主表面上形成膜的步骤；在形成的膜上涂布抗蚀剂的步骤；经由具有微孔图案的掩模，对上述抗蚀剂面进行曝光，除去抗蚀剂的非硬化部分的步骤；蚀刻上述膜和基板的暴露部分，打微孔阵列形状的孔的步骤；以及除去抗蚀剂的步骤。还涉及一种微孔阵列芯片，该微孔阵列芯片具有多个微孔，是用于在各微孔中容纳1个被检生物体细胞的硅制微孔阵列芯片。上述微孔具有在一个微孔中仅可容纳1个生物体细胞的形状和尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 微孔 阵列 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微孔阵列芯片，该微孔阵列芯片在基板的一侧主表面上具有多个微孔，上述微孔具有在一个微孔中仅可容纳一个生物体细胞的形状和尺寸，在与微孔的开口相同的基板表面上具有微孔的标记。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富山县政府;村口笃;岸裕幸;时光善温;近藤佐千子，未经富山县政府;村口笃;岸裕幸;时光善温;近藤佐千子许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480034519.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种治疗脚气病的中药脚气膏
- 下一篇：可整形式平面光波光路高速光调制器
