[发明专利]电子半导体元器件在用于采用液态介质处理半导体元器件的载体系统上的布局有效
申请号: | 200480034807.1 | 申请日: | 2004-09-29 |
公开(公告)号: | CN1890791A | 公开(公告)日: | 2007-01-03 |
发明(设计)人: | S·布拉德尔;M·梅茨尔;J·施维格尔;T·施塔彻 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 曹若;胡强 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种电子半导体元器件在用于采用液态介质处理半导体元器件的载体系统上的布局,其中,半导体元器件以其有源面可拆开地安装在载体系统上,使该布局至少在边缘区域内并局部地在半导体元器件和载体系统之间具有间隙,本发明的目的在于,为在制造过程中产品可靠地操作半导体元器件,该电子半导体元器件可拆开地设置在机械稳定的载体系统上,在这种布局中,可控制地降低半导体元器件和载体系统之间的间隙的毛细作用,并因此防止在间隙内蠕动的液态介质的破坏作用。该目的依据本发明由此得以实现,即载体系统的表面具有使所述间隙在其整个边缘区域内扩展的造型。 | ||
搜索关键词: | 电子 半导体 元器件 用于 采用 液态 介质 处理 载体 系统 布局 | ||
【主权项】:
1.电子半导体元器件在用于采用液态介质处理半导体元器件的载体系统上的布局,其中,该半导体元器件利用其有源面可拆开地安装在载体系统上,使该布局至少在边缘区域内、并局部地在半导体元器件和载体系统之间具有间隙,其特征在于,载体系统(4)的表面具有使间隙(7)在其整个边缘区域内扩展的造型。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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