[发明专利]中性粒子束处理设备无效
| 申请号： | 200480034993.9 | 申请日： | 2004-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1887035A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李奉柱;俞席在;李学柱 | 申请（专利权）人： | 韩国基础科学支援研究院;希姆科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H3/06 | 分类号： | H05H3/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种中性粒子束处理设备。更具体地，本发明涉及一种中性粒子束处理设备，包括：等离子体放电空间，在其内部，通过等离子体放电将处理气体转换为等离子体离子；重金属板，通过碰撞将等离子体离子转换为中性粒子；等离子体限制器，防止等离子体离子和电子通过，并允许由等离子体离子与金属板的碰撞产生的中性粒子通过；以及处理外壳，其内部设置了要处理的基板，其中将等离子体放电空间夹在重金属板和等离子体限制器之间。 | ||
| 搜索关键词： | 中性 粒子束 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种中性粒子束处理设备，包括：等离子体放电空间，在其内部，通过等离子体放电将处理气体转换为等离子体离子；重金属板，通过碰撞将等离子体离子转换为中性粒子；等离子体限制器，防止等离子体离子和电子通过，并允许由等离子体离子与金属板的碰撞产生的中性粒子通过；以及处理外壳，其内部设置了要处理的基板，其中将等离子体放电空间夹在重金属板和等离子体限制器之间。
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