[发明专利]使用化学辅助回流来减小光致抗蚀剂的线缘粗糙度无效
| 申请号： | 200480035077.7 | 申请日： | 2004-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1886699A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·米格莱;迈克尔·古德纳尔;史蒂夫·E·帕特纳;谢恩·克拉克;W·岳 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过用塑化剂处理图形化光致抗蚀剂可以减小线缘粗糙度。塑化剂的使用可以以在显影后表面处理光致抗蚀剂的方式来进行。此后，塑化的光致抗蚀剂可以经历加热步骤来回流光致抗蚀剂。回流处理可以减小图形化的、被显影的光致抗蚀剂的线缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 化学 辅助 回流 减小 光致抗蚀剂 粗糙 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：显影图形化的光致抗蚀剂；将塑化剂施加到所述图形化的光致抗蚀剂的所述表面，以降低线缘粗糙度；以及在施加所述塑化剂之后，回流所述光致抗蚀剂。
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