[发明专利]模拟标线图案数据、检查标线图案数据以及产生用于检测标线图案数据工艺的方法

摘要

这里提供多种计算机应用方法，一种产生用于检查标线图案数据的工艺的方法包括识别标线图案数据中的第一区域。标线图案数据中的第一区域的印刷性比第二区域的印刷性更敏感于工艺参数的变化。该方法还包括将一个或多个检查参数赋予第一区域和第二区域，从而在加工过程中以比第二区域更高的敏感度检查第一区域。另一方法包括以比第二区域更高的敏感度检查第一区域。又一方法包括对如何印刷标线图案数据进行模拟。用一个或多个不同的模拟参数进行第一和第二区域的模拟，从而以比第二区域更高的保真度模拟第一区域。

主权项

1.一种产生用于检查标线图案数据的工艺的计算机实现方法，包括：在标线图案数据中识别第一区域，其中，标线图案数据中的第一区域的印刷性比第二区域的印刷性更敏感于工艺参数的变化；以及将一个或多个检查参数赋予第一区域和第二区域，从而在加工过程中以比第二区域更高的敏感度检查第一区域。