[发明专利]用等离子体振子辅助化学反应形成材料膜的方法和系统

摘要

用化学气相沉积形成材料膜的方法。所述方法包括提供包含至少一种金属纳米结构图案的衬底，所述金属纳米结构由选定材料制成。所述方法包括确定所述纳米结构的所述选定材料的等离子体振子共振频率，以及用具有预定频率的电磁源在所述等离子体振子共振频率下激发部分所述选定材料以使所述选定材料的热能增加。所述方法包括在包含在所述等离子体振子共振频率下激发的所述选定材料的所述衬底上面施加一种或更多种化学前体，以及在至少所述选定材料的所述部分上面选择性沉积膜。

主权项

1.用等离子体振子辅助化学气相沉积形成材料膜的方法，所述方法包括：提供包括表面区域的衬底；在部分所述表面区域上面形成一种或更多种粒子，所述一种或更多种粒子具有热特性；在所述一种或更多种粒子的邻近区域内施加反应性物质；用电磁辐射照射所述一种或更多种粒子，所述电磁辐射具有预选频率；通过至少所述具有所述预选频率的电磁辐射的影响将所述具有热特性的一种或更多种粒子的温度升至至少选定温度；通过至少提高所述一种或更多种粒子的温度而引起所述反应性物质的化学反应，从而引发由所述反应性物质形成材料膜。