[发明专利]有高孔径与平端面的投影物镜无效
| 申请号： | 200480037372.6 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1894632A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | S·贝德尔;W·辛格尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于把在投影物镜的物面上提供的图案成像到适合微光刻投影曝光机的投影物镜的图像面的投影物镜，具有多个对于投影物镜的工作波长的辐射是透明的光学单元。至少一个光学单元是由具有在工作波长上折射率n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学单元。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 端面 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于把在投影物镜的物面上提供的图案成像到适合于微光刻投影曝光机的投影物镜的图像面上的投影物镜，包括：对于在投影物镜的工作波长上的辐射是透明的多个光学单元；其中至少一个光学单元是由具有在工作波长上的折射率n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学单元。
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