[发明专利]基板夹持装置、基板夹持方法及基板处理装置有效

专利信息
申请号: 200480037939.X 申请日: 2004-12-22
公开(公告)号: CN1894772A 公开(公告)日: 2007-01-10
发明(设计)人: 关本雅彦;胜冈诚司;大直树;渡边辉行;小川贵弘;铃木宪一;小林贤一;本岛靖之;加藤亮 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 刘兴鹏;邵伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种基板夹持装置,其能够符合小尺寸紧凑装置的要求,同时还确保基板在处理液中足够的浸入深度。该基板夹持装置包括:基板夹持器(84),用于通过把基板(W)表面的边缘部分与第一密封组件(92)相接触来支撑基板(W);及基板按压部分(85),其相对于基板夹持器(84)降低,以便向下按压通过基板夹持器(84)所夹持的基板(W),从而使得第一密封组件(92)与基板(W)压力接触;其中基板按压部分(85)装备有第二环形密封组件(170),第二环形密封组件与基板夹持器(84)的环形夹持部分的上表面压力接触,从而密封基板按压部分(85)的周边区域。
搜索关键词: 夹持 装置 方法 处理
【主权项】:
1、一种基板夹持装置,包括:基板夹持器,其具有第一密封组件,该基板夹持器通过把基板的待处理表面的边缘部分与第一密封组件相接触以支撑基板;及基板按压部,用于相对于基板夹持器下降,以便向下按压由基板夹持器夹持的基板,从而使第一密封组件与基板压力接触;其中基板按压部提供有第二环形密封组件,当基板按压部相对于基板夹持器降低的时候,第二环形密封组件与基板夹持器的环形夹持部分的上表面压力接触,从而密封基板按压部的周边区域。
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