[发明专利]用于抑制工件的热诱导运动的装置及方法有效
| 申请号： | 200480038013.2 | 申请日： | 2004-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1902746A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 大卫·玛尔科穆·卡穆;姆拉登·本布洛维奇;约瑟夫·西贝尔;基弗·J·埃利奥特;史蒂夫·麦科伊;格雷格·斯图尔特 | 申请（专利权）人： | 加拿大马特森技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨生平;魏金霞 |
| 地址： | 加拿大英*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明涉及用于抑制工件热诱导运动的装置及其方法。一种装置包括工件加热系统，该工件加热系统构造成热诱导工件的运动；且该装置还包括阻尼件，该阻尼件与工件隔开设置并构造成施加阻尼力以阻抑所述工件的运动。该阻尼件可与工件的静止位置隔开足够小而使得阻尼件与工件之间的气体压力对抗工件的运动的距离。该距离优选地是可调节的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抑制 工件 诱导 运动 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：a)工件加热系统，其构造成热诱导工件的运动；和b)阻尼件，其与工件隔开设置并构造成施加阻尼力以阻抑工件的运动。
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