[发明专利]电子器件无效
| 申请号： | 200480038318.3 | 申请日： | 2004-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1898814A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | M·K·克利;T·G·S·M·里克斯;P·洛克;R·G·莫措克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01H57/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 顾珊;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40)，其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器，在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动，在该第一位置中，它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25)，所述第二电极(21)面向衬底(30)，并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极，因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 电子器件 | ||
【主权项】：
1.一种设有微电机械系统(MEMS)元件的电子器件，其包括：-存在于衬底表面上的第一电极；-可移动元件，其至少部分地覆盖第一电极并包括压电激励器，在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件可向着和从衬底移动，在该第一位置中，它借助间隙与衬底分开，其中该压电激励器包括在相对的表面上分别设有第二和第三电极的压电层，所述第二电极面向衬底，并且所述第三电极形成MEMS元件的输入电极，使得通过MEMS元件之间的电流路径包括该压电层和可调的间隙。
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