[发明专利]基板检查装置

摘要

形成为：在对在印刷基板(1)上形成的图形区域(20)的形成状态进行检查的基板检查装置(1)中，设有：内侧区域数据生成单元(7)，生成作为检查对象的图形区域(20)的内侧区域(21c)的检查数据；外侧区域数据生成单元(10)，生成外侧的环状区域(22b)的检查数据；以及内侧、外侧判断单元(9、11)，将该生成的内侧区域数据、外侧区域数据和预先设定的基准数据进行比较，判断图形区域的合格与否，所以对于容许较大缺陷的图形区域(20)的内侧应用宽松的基准，而对于细微的缺陷也会成为问题的图形区域(20)的外侧应用严格的基准，从而恰当地进行缺陷检测。

主权项

1.一种基板检查装置，对在基板上形成的图形区域的形成状态进行检查，其特征在于，构成为具有以下部分：检查数据生成单元，生成作为检查对象的图形区域的内侧和外侧的检查数据；和判断单元，将由上述检查数据生成单元生成的图形区域的内侧的检查数据和预先设定的内侧的基准检查数据进行比较，并将上述外侧的检查数据和预先设定的外侧的基准检查数据进行比较，从而判断该图形区域的合格与否。