[发明专利]半导体预装件的传送机制和传送方法无效
申请号: | 200480038589.9 | 申请日: | 2004-12-17 |
公开(公告)号: | CN1898789A | 公开(公告)日: | 2007-01-17 |
发明(设计)人: | 郑显权;金硕培 | 申请(专利权)人: | 韩美半导体株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄威;张金海 |
地址: | 韩国仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开一种半导体预装件传送机制和一种半导体预装件传送方法。半导体预装件传送机制包括:多个捡拾单元,其可沿着在一个方向上延长的轴移动并且彼此独立操作;安装在捡拾单元移动路线交叉方向的视频检测设备,其用于检测通过捡拾单元传送到那里的半导体预装件的缺陷。捡拾单元捡拾起预定数量的适应于视频检测设备的一次摄影容量的半导体预装件,并且快速地将半导体预装件传送到视频检测设备。在处理系统的处理期间内,半导体预装件的时延和等待时间显著减少,因此传送效率和视频检测效率得到显著提高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 预装 传送 机制 方法 | ||
【主权项】:
1、一种半导体预装件传送机制,包括:多个捡拾单元,其沿着在一个方向上延长的轴移动并且彼此独立操作;以及与捡拾单元移动路线交叉安装的视频检测设备,用于检测通过捡拾单元传送到此的半导体预装件的缺陷,其中捡拾单元捡拾起预定数量的适应于视频检测设备的一次摄影容量的半导体预装件,并且立即将这些半导体预装件传送到视频检测设备。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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