[发明专利]半导体型三轴加速度传感器

摘要

提供一种半导体型三轴加速度传感器，其抗冲击性高，X轴、Y轴和Z轴压电电阻输出之间的差异小，尺寸小，灵敏度高，输出高。挠性臂由挠性加宽部分和挠性平行部分构成。挠性加宽部分具有最大应力部分。压电电阻排列在挠性臂的上表面上以使压电电阻的一端位于最大应力部分。Z轴压电电阻的位置靠近挠性臂的宽度中心线，而X轴和Y轴压电电阻远离宽度中心线。而且，Z轴压电电阻沿着挠性臂的长度方向从最大应力部分移动以减小X轴、Y轴和Z轴压电电阻之间的输出差。

主权项

1.一种半导体型三轴加速度传感器，包括：位于上述半导体型三轴加速度传感器的中心，并且施加来自外部的加速度的重物；用于支撑上述重物的支撑框；在上述重物和上述支撑框之间，在上述挠性臂两端的两个第一连接端把上述重物的上表面和上述支撑框的上表面连接的至少一个薄的梁状的挠性臂；用于测量加速度三个轴分量中的每个轴分量，设置在上述挠性臂的上表面并且沿着上述挠性臂的上表面在上述挠性臂长度方向上对齐的多个压电电阻；以及连接上述挠性臂的上表面上的上述多个压电电阻的端子的布线，其中，上述挠性臂包括：挠性平行部分，在上述挠性平行部分两端分别具有第二连接端并且宽度实质上相同；以及两个挠性加宽部分，连接上述挠性平行部分的第二连接端中的一个和与上述支撑框/重物的第一连接端之间，并且从上述挠性平行部分的第二连接端向第一连接端变宽；设置于上述挠性臂上表面的上述多个压电电阻中的每一个压电电阻远离上述挠性臂的第一连接端配置；且用于测量上述加速度三个轴分量中至少一个轴分量的上述多个压电电阻中的每一个压电电阻，从上述挠性加宽部分横跨第二连接端在上述挠性平行部分上延伸。