[发明专利]先进的粗糙度测量方法无效
| 申请号： | 200480040018.9 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1906478A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 阿维拉姆·塔母;戴维·科林·蔡司 | 申请（专利权）人： | 以色列商·应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/24;H01L21/66;G03F7/20;G06T7/00;G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种评价形状的方法，包括：接收该形状的图像并确定图像中形状边缘上多个点的各自坐标。用非圆形的非直线形状的图形拟合多个点，并确定所述多个点到所述图形的各个距离。根据各个距离计算所述形状粗糙度参数。该方法应用于集成电路关键尺寸(CD)的分析，并尤其用于测量通过诸如电子扫描显微镜(SED)成像的形状和元件的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 先进 粗糙 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种评价形状的方法，包括：接收所述形状的图像；确定图像中形状边缘上多个点的各自坐标；用非圆形的非直线形状的图形拟合多个点；确定所述多个点到所述图形的各个距离；根据各个距离对所述形状计算粗糙度参数。
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