[发明专利]用于制造微通道板(MCP)的穿孔大型毛坯晶片无效

专利信息
申请号: 200480040258.9 申请日: 2004-12-02
公开(公告)号: CN1938815A 公开(公告)日: 2007-03-28
发明(设计)人: 托马斯·N·佩克 申请(专利权)人: ITT制造企业公司
主分类号: H01J43/24 分类号: H01J43/24
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王英
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在制造微通道板(MCP)时使用大型毛坯。大型毛坯具有横截面表面,其包括岛部分、内周边部分和外周边部分,每个部分占据横截面表面的不同部分。岛部分由相对于横截面表面横向地取向的第一多个光学纤维形成,每个光学纤维包括由不可刻蚀材料形成的包层和由可刻蚀材料形成的芯。内周边部分由不可刻蚀材料形成,并设置成包围岛部分。外周边部分由相对于横截面表面横向地取向的第二多个光学纤维形成,每个光学纤维包括由不可刻蚀材料形成的包层和由可刻蚀材料形成的芯,并且外周边部分设置成包围岛部分和内周边部分。当刻蚀岛部分时,岛部分的第一多个光学纤维形成MCP的横向微通道,并且当刻蚀外周边部分时,外周边部分的第二多个光学纤维形成穿孔劈面。
搜索关键词: 用于 制造 通道 mcp 穿孔 大型 毛坯 晶片
【主权项】:
1、一种在制造微通道板(MCP)时使用的大型毛坯,该大型毛坯包括:横截面表面,其包括岛部分、内周边部分和外周边部分,每个部分占据该横截面表面的不同部分,其中该岛部分由相对于该横截面表面横向地取向的第一多个光学纤维形成,每个光学纤维包括由不可刻蚀材料形成的包层和由可刻蚀材料形成的芯,该内周边部分由不可刻蚀材料形成,并且被设置成包围该岛部分,并且该外周边部分由相对于该横截面表面横向地取向的第二多个光学纤维形成,每个光学纤维包括由不可刻蚀材料形成的包层和由可刻蚀材料形成的芯,并且该外周边部分被设置成包围该岛部分和该内周边部分。
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