[发明专利]显示装置及其制造法有效
| 申请号： | 200480040429.8 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1906527A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 福地邦彦;藤井岩;中村理;前川慎志 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;H01L21/288;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭广迅;段晓玲 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的一个方面，通过液滴喷射方法形成制造显示装置所需的至少一个或多个图案，例如形成布线或电极的导电层以及掩模。那时，其中不在半导体层下的一部分栅极绝缘薄膜在本发明的制造步骤过程中被除去。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 及其 制造 | ||
【主权项】：
1.一种显示装置，包括：薄膜晶体管，包括：在衬底之一之上的包括导电性材料的栅极；包括氮化硅层、氮氧化硅层和二氧化硅层的至少一个的岛形栅极绝缘薄膜，其与栅极连接；半导体层；和包括导电性材料的源极布线和漏极布线，其连接到半导体层；和连接到薄膜晶体管的像素电极，其中提供半导体层的一端使得其不从栅绝缘层的一端伸出。
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