[发明专利]制造光子晶体的方法无效
| 申请号： | 200480040648.6 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101006373A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 马克·T·安德森;凯瑟琳·A·莱瑟达莱;斯克特·D·汤姆普森 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造光子晶体的方法，包括(a)提供基本上无机的光反应性组合物；(b)使用包括至少三个光束的多光束干涉技术，使至少部分光反应性组合物经受适当波长，空间分布和强度的射线辐射，以形成光反应性组合物的反应和未反应部分的二维或三维周期图案；和(c)除去光反应性组合物的未反应部分或反应部分，形成填隙空位空间。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 光子 晶体 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括(a)提供基本上无机的光反应性组合物；(b)使用包括至少三个光束的多光束干涉技术，使至少部分所述光反应性组合物经受适当波长，空间分布和强度的射线的辐射，以形成所述光反应性组合物的反应和未反应部分的二维或三维周期图案；和(c)除去所述光反应性组合物的所述未反应部分或所述反应部分，形成填隙空位空间。
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