[发明专利]用于均匀性控制的分段射频电极装置和方法无效
| 申请号： | 200480041420.9 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101137770A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 安德莱斯·费舍 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;李丙林 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在等离子体处理中使用的分段射频(RF)供电电极。该电极包含第一电极，包围第一电极的第二电极，和介于第一电极和第二电极之间的电介质材料。该电介质材料电气隔离第一电极和第二电极。至少一个双频射频功率源在第一频率和第二频率下输出RF功率。第一频率和第二频率不同，使得至少一个射频开关从至少一个双频源至少发送第一频率或第二频率给第一电极，第二电极，或第一电极和第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 均匀 控制 分段 射频 电极 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于等离子体处理中的分段RF供电电极装置，该装置包含：第一电极；包围第一电极的第二电极；介于第一电极和第二电极之间的电介质材料，其中电介质材料将第一电极和第二电极电气隔离；至少一个双频射频(RF)功率源，适合于在第一频率和第二频率下输出RF功率，其中第一频率和第二频率不同；和至少一个射频开关，适合于从至少一个双频源至少发送第一频率或第二频率给第一电极，第二电极，或第一电极和第二电极。
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