[发明专利]显影装置及显影方法

摘要

将曝光完毕的基板保持于旋转吸盘并使其绕铅直轴旋转，一边从显影液喷嘴喷出显影液，一边从晶片外缘朝向中央部移动显影液喷嘴，由此向晶片表面供给显影液，其中所述显影液喷嘴具有纵长方向朝向晶片半径方向的垂直方向的狭缝状的喷出口。与使用具有小径圆形喷出口的喷嘴的情况相比，可以加快喷嘴的移动速度，实现显影时间的缩短。再者，由于可以减小基板上的显影液膜的厚度，所以可以节约显影液。

主权项

1.一种显影装置，其特征在于，具备：基板保持部，水平地保持具有曝光了的抗蚀剂的基板；旋转驱动装置，使保持基板的基板保持部绕铅直轴旋转；显影液喷嘴，具有细长带状的喷出口，向基板喷出显影液；和移动装置，具有支承上述显影液喷嘴的喷嘴支承部，并且使上述显影液喷嘴大致沿基板的半径方向移动，上述移动装置的喷嘴支承部，以在上述喷出口位于上述基板上方时，上述喷出口的纵长方向朝向基板的中央部的方式支承上述显影液喷嘴，在使基板绕铅直轴旋转的状态下，一边从上述喷出口喷出带状的显影液一边从基板外侧朝向中央部移动上述显影液喷嘴，来向基板表面螺旋状供给显影液。