[发明专利]基板输出输入装置以及基板输出输入方法

摘要

本发明的基板输出输入装置(100)以及基板输出输入方法用于从托盘取出基板，或者将基板输入到托盘中。首先，在输送器(103)的规定位置上进行托板(101)的定位，在进行了该定位的状态下，借助托盘夹具(107)将叠置在托板上的多层托盘(102)中较处理对象托盘位于上层的非处理对象托盘把持住并使其升降。并且，在非处理对象托盘上升而在处理对象托盘上确保了足够空间期间，升降销(105)通过设置在托盘以及托盘上的升降销通过用孔(102a)，由此对升降销的动作进行控制，使得升降销末端距处理对象托盘有规定距离。这样，使得基板(108)的输入以及输出能够得以进行。

主权项

1.一种基板输出输入装置，用于进行基板从托盘的取出，或者向所述托盘输入基板，其特征在于，具备：输送器，其用于使叠置有多层托盘的托板移动；托板定位机构，其在所述输送器的规定位置上进行所述托板的定位；升降销，其在借助所述定位机构将所述托板定位了的状态下，通过设置在所述托板以及所述托盘上的通过用孔，用于将所述基板从托盘托起；托盘升降机构，其用于将所述托板上叠置的所述多层托盘分离成包括处理对象托盘并较其位于下层的第一托盘组、和较所述处理对象托盘位于上层的第二托盘组，使所述升降销和所述第一托盘组相对地升降；以及托盘升降控制机构，其控制所述托盘升降机构的动作；所述控制机构控制所述升降销和所述处理对象托盘之间的位置关系，使得在借助所述托盘升降机构在所述第一托盘组和所述第二托盘组之间确保了空间时，所述升降销的末端距所述处理对象托盘有规定距离，使得所述基板取出或者输入能够得以进行。