[发明专利]电极基板及其制造方法

摘要

目的在于除去存在于CCM基板的阳极表面上的表面不良层，并对阳极表面进行保护，进而防止有机EL元件的驱动电压的上升，维持发光均一性。在基板(12)上层叠进行光的波长变换的CCM层(14)，在该CCM层(14)上形成由IZO构成的阳极(16)。在阳极(16)上采用感应结合型RF等离子支援的磁控管溅射器、用溅射处理层叠由无机化合物构成的表面保护层(18)。作为无机化合物优选SiO₂。可以利用溅射处理除去阳极(16)的表面不良层的同时利用无机化合物保持表面不良层被除去的状态。其结果，可以长期维持阳极(16)的电学稳定性，可以提高有机EL显示装置(100)的显示画质。

主权项

1.一种电极基板，其特征在于包含：基板，由含In原子的化合物制成的电极，荧光变换层，其位于所述电极与所述基板之间、对入射到此层的光的波长进行变换，在所述电极表面的、与所述荧光变换层相对的表面相反侧的表面上，形成有由无机化合物组成的表面保护层。