[发明专利]影像传感器用试验装置无效
| 申请号： | 200480042647.5 | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1926422A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 清川敏之 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;H01L27/14;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种影像传感器用试验装置，一边对影像传感器(DUT)的感光面照射光，一边从接触部对影像传感器的输入输出端子输入输出电信号，试验影像传感器(DUT)的光学特性，其中：用第一摄像机(326)拍摄由接触臂(315)把持的状态的影像传感器(DUT)，由图象处理识别影像传感器(DUT)对于接触部的相对位置，在该相对位置加上预先计算的影像传感器(DUT)的光轴对于光源的光轴的偏移量，计算影像传感器(DUT)的对齐量，根据它，驱动驱动部(322)，在锁定和释放机构(318)成为不约束的状态下，使与可动台(321)接触的把持一侧臂(317)移动。 | ||
| 搜索关键词： | 影像 传感 器用 试验装置 | ||
【主权项】：
1.一种影像传感器用试验装置，使影像传感器的输入输出端子与测试头的接触部接触，一边对所述影像传感器的感光面照射光，一边从所述测试头的接触部对所述影像传感器的输入输出端子输入输出电信号，从而对至少一个所述影像传感器进行光学特性的试验，其中至少包括：把持所述影像传感器，使影像传感器与测试头的接触部接触的接触臂；设置在基台一侧，使所述接触臂移动的移动部件；对所述影像传感器的感光面照射光的光源；计算所述影像传感器的感光面的光轴对于所述光源的光轴的相对偏移量的计算部件；根据由所述计算部件计算的所述影像传感器的光轴的相对偏移量，修正把持所述影像传感器的状态的所述接触臂的位置的修正部件。
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