[发明专利]垂直的滤色片传感器组

摘要

一种垂直滤色片传感器组形成于基片(最好是半导体基片)之上，并包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器。在较佳的实施例中，传感器组包括至少一个滤光片，它相对于传感器定位，使得通过该滤光片传播的辐射或从该滤光片反射的辐射将传播到至少一个传感器中。较佳地，该滤光片是一个或者包括一个已通过半导体集成电路制造工艺与传感器结合在一起的层。在其它实施例中，传感器组包括微透镜。本发明的其它方面是：垂直滤色片传感器组的阵列，这些传感器组中的某些或者全部包括至少一个滤光片或微透镜；以及制造垂直滤色片传感器组及其阵列的方法。

主权项

一种在半导体基片上形成的传感器组，包括：至少两个垂直堆叠的传感器，每一个传感器具有不同的光谱响应并且被配置成收集第一极性的光生载流子；以及至少一个滤光片，所述滤光片置于所述传感器中的两个传感器之间，由此穿过所述滤光片而传播的辐射、或从所述滤光片反射的辐射将传播到所述传感器中的至少一个传感器内，其中，所述至少一个滤光片是通过将滤光片材料填充到在所述传感器组的所述两个传感器之间限定的至少一个空隙中而形成的。