[发明专利]激光加工装置有效

专利信息
申请号: 200480042777.9 申请日: 2004-06-02
公开(公告)号: CN1947239A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 韩裕熙 申请(专利权)人: EO技术有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 黄纶伟
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种激光加工装置,用于使加工物体时生成的碎屑最少并提高加工效率。该激光加工装置包括:发射来自激光源的激光束的束照射器;束扫描器,用于操作从所述束照射器发射的激光束,将其笔直地重复照射在物体的加工位置的预定间隔上;以及会聚透镜,用于调节从所述束扫描器发射的激光束的焦点。在加工物体期间沿着加工方向移动物体至少一次。根据本发明,能够提高加工效率,并且通过使用掩模来过滤在束扫描反射镜的旋转转折点处照射的激光束而以一致的形态来加工物体,通过把激光束变形为椭圆图案而能够连续地照射激光束。
搜索关键词: 激光 加工 装置
【主权项】:
1.一种用于通过激光来加工物体的激光加工装置,该激光加工装置包括:束照射器,用于发射来自激光源的激光束;束扫描器,用于操作从所述束照射器发射的激光束,将其笔直地重复照射在所述物体的加工位置的预定间隔上;以及透镜,用于会聚从所述束扫描器发射的所述激光束;其中在加工所述物体时沿着加工方向传送所述物体至少一次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于EO技术有限公司,未经EO技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200480042777.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top