[发明专利]高精度的Z－θ平台

摘要

一高精度的z－θ平台具有一水平的平移轴线(z－轴线)和一与平移轴线平行的转动轴线(θ－轴线)，该z－θ平台包括平行地间隔开的线性平移平台(12、13)，一机架(14)支承在平行平移的平台之间，以及一转动平台(15)被机架支承在平行的平移平台之间。各无刷的线性电机连接到机架上，以在一与机架的垂直重心相交的水平平面内施加平移力。

主权项

1.一高精度的z-θ平台，具有一水平的平移轴线(z-轴线)和一与平移轴线平行的转动轴线(θ-轴线)，该z-θ平台包括：一底板，该底板具有位于一平面内的多个上表面；平行地间隔开的线性平移平台，各具有平行的线性轴承，而轴承表面安装在离底板的平表面基本上相等的距离处，各个线性平移平台具有一无刷的线性电机；一机架，通过线性轴承支承在平行的平移平台之间；以及一转动平台，由机架承载在平行的平移平台之间，所述转动平台包括一无刷的转动电机，电机具有一轴颈支承的轴，其轴线平行于线性轴承，机架和转动平台具有一垂直的和一水平的重心，各个无刷线性电机连接到机架上，以在一与所述垂直重心相交的水平平面内施加平移力。