[发明专利]带有载流子收集单元的垂直滤色片传感器组

摘要

一种形成于基片(最好是半导体基片)上并且包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器的垂直滤色片传感器组以及这种传感器组的阵列。在一些实施例中，与该组中每一个尺寸最小的载流子收集单元相比，该组中至少有一个传感器的载流子收集单元在被投影到与该组顶部传感器的上表面所定义的法线轴相垂直的一平面中时具有更大的面积。在一些实施例中，该阵列包括至少两个共用至少一个载流子收集单元的传感器组。可选地，该传感器组包括至少一个滤光片，该滤光片相对于该传感器而定位，使得穿过所述滤光片而传播的辐射或从所述滤光片反射的辐射将传播到该组的至少一个传感器中。

主权项

1.一种在半导体基片上形成的传感器组，所述传感器组包括：至少两个垂直堆叠的传感器，其中包括顶部传感器，所述顶部传感器具有定义法线轴的上表面，其中每一个传感器具有不同的光谱响应，被配置成加偏压以充当光电二极管，并且具有被配置成在所述传感器被加偏压以充当光电二极管时收集光生载流子的载流子收集单元，其中至少有一个所述载流子收集单元是尺寸最小的载流子收集单元，并且所述传感器中至少有一个传感器的载流子收集单元在与所述法线轴相垂直的一平面上的投影面积远大于每一个所述尺寸最小的载流子收集单元在所述平面上的投影面积。