[发明专利]超亲水性Ti－O－C基纳米膜及其制备方法

摘要

本发明涉及超亲水性Ti－O－C基纳米膜，其具有改进的沉积厚度以及出色的沉积均匀性，其通过在均一比例下混合Ti前体和低沸点的高挥发性液体而制成。催化剂加速Ti前体的汽化并使所述Ti前体易于被注入到反应室中，因此改进了等离子体聚合效率。

主权项

1.超亲水性Ti-O-C基纳米膜的制备方法，其包括：将表面待处理的基材放置在真空状态下的反应室中，在所述反应室中安装有至少一个电极；向所述反应室中引入Ti前体气体、选自空气或氧气的反应气体，以及作为Ti沉积促进剂的低沸点挥发性催化剂；向电极施加高电压并因此将引入的气体变为等离子体状态；和在所述基材的至少一个表面上形成Ti-O-C基纳米膜。