[发明专利]检测系统有效
| 申请号： | 200480043711.1 | 申请日： | 2004-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1998003A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 刘通;方仲平 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技研究局 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李瑞海 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种用于对衬底(12)上的微小物体(11)进行三维检测的检测系统(10)，该系统包括：校准模块(20)，用于对捕捉物体的倾斜图像所用的检测角(30)进行校准，对检测角的校准是通过用一个物体作为参考而进行的；至少一个图像捕捉器(23)，用于捕捉物体的第一图像并捕捉物体的倾斜图像；图像处理器(24)，用第一图像确定物体位置，并用倾斜图像和第一图像来确定物体高度；其中，如果物体高度不在预定判据范围内，则将其归类为有缺陷，并对有缺陷物体的位置进行识别。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于对衬底上的微小物体进行三维检测的检测系统，包括：校准模块，用于对捕获所述物体的倾斜图像所用的检测角进行校准，对所述检测角的校准是通过使用一个物体作为参考来进行的；至少一个图像捕捉器，用于捕捉所述物体的第一图像，并捕捉所述物体的倾斜图像；以及图像处理器，用于使用所述第一图像确定所述物体的位置，并使用所述倾斜图像和所述第一图像确定所述物体的高度；其中，如果所述物体的高度不在预定判据范围内，则将其归类为有缺陷，并对所述有缺陷物体的位置进行识别。
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