[发明专利]包括半导体材料的空间光调制器无效
| 申请号： | 200480044874.1 | 申请日： | 2004-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101120278A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 托比约恩·桑德斯特罗姆 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一方面包括用于抵抗具有静电激励器的微镜装置的偏转漂移的稳定方法，该方法包括如下动作：提供激励器，该激励器包括为所述微镜以及在所述微镜下面的至少一个电极的至少两个构件，所述至少两个构件中的至少一个由半导体材料形成，在所述至少一个半导体构件上设置面向所述激励器的另一构件的表面层，所述表面层具有1017cm3或更高的载流子密度。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 半导体材料 空间 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种抵抗具有静电激励器的微镜装置的偏转漂移的稳定方法，包括如下动作：提供激励器，所述激励器包括为所述微镜以及在所述微镜下面的至少一个电极的至少两个构件，所述至少两个构件中的至少一个由半导体材料形成，在所述至少一个半导体构件上设置面向所述激励器的另一构件的表面层，所述表面层具有1017cm3或更高的载流子密度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦克罗尼克激光系统公司，未经麦克罗尼克激光系统公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480044874.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
