[发明专利]将材料涂布于对象上的装置与方法无效
| 申请号： | 200510001603.4 | 申请日： | 2005-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1651154A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 植松义尊 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种将材料涂布于对象上的装置。第一腔室具有维持在惰性气体的环境。第二腔室具有可在惰性气体与空气之间切换的环境。连接通道连接第一腔室与第二腔室。第一可开启与关闭门设置在第一腔室与第二腔室之间。第二可开启与关闭门设置在第二腔室上。第一夹持具设置在第一腔室中，第一夹持具可拆卸的夹持涂布器。第二夹持具设置在第二腔室中，第二夹持具可拆卸的夹持涂布器。移动台设置在第二腔室中，将填满材料、且由第二夹持具所夹持的涂布器，经由连接通道从第二腔室移至第一腔室。移动台将结束材料的涂布、且由第二夹持具所夹持的涂布器，经由连接通道从第一腔室移至第二腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 对象 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种将材料涂布于对象上的装置，其特征在于包括：一第一腔室，具有惰性气体的气体环境；一第二腔室，具有可在惰性气体与空气之间切换的气体环境；一通道，连接该第一腔室与该第二腔室；一第一门，设置在该第一腔室与该第二腔室之间，且可在第一位置与第二位置之间动作；一第二门，设置在该第二腔室上以提供从该装置外侧至该第二腔室的途径，且可在第一位置与第二位置之间动作；一第一夹持具，设置在该第一腔室中，该第一夹持具包括可移动的夹持一涂布器的结构；一移动台，可穿过该第二门，并可穿过该连接通道而在该第一腔室与该第二腔室间移动；以及一第二夹持具，设置在该台上，该第二夹持具包括可移动的夹持一涂布器的结构。
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