[发明专利]半导体器件的错误评价支持方法与装置

摘要

在对半导体器件的由宇宙射线中子引起的错误的抵抗能力进行评价的场合，在评价装置的存储部，存储具有各自不同的频谱形状的多个白色中子的频谱数据和用该多个频谱数据各自进行的由白色法所得到的多个SEE(Single Event Effect)数；而后，演算部从存储部读出频谱数据，分割成多个能量群，对于上述多个频谱数据各自进行计算并存储各能量群的总通量的处理。而且，从存储部读出上述多个频谱数据各自的SEE数和各能量群的总通量，并代入表示多个频谱数据各自的各能量群的总通量的矩阵元素和表示各能量群的SEE截面积的矢量之积、表示上述多个频谱数据各自的SEE数的联立方程式，算出各能量群的SEE截面积。而后，为由多个频谱和近似函数的积分所得到的错误数的计算值与实际测量值充分一致，演算部，计算决定作为能量函数的SEE截面积的近似函数的形式的参数。通过进行这样的处理，就能进行不依赖于加速器、使用了白色中子的半导体器件的错误评价。

主权项

1.一种半导体器件评价支持方法，用计算机系统评价半导体器件的由宇宙射线中子引起的错误的抵抗能力，其特征在于，进行下述步骤：第一步骤，在上述计算机系统的存储装置中，存储各自具有不同频谱形状的多个白色中子的频谱数据和用上述多个频谱数据各自进行的、由白色法所得到的多个SEE(Single Event Effect)数，上述计算机系统的演算装置，从上述存储装置读出频谱数据后分割成多个能量群，算出各能量群的总通量，对上述多个频谱数据分别执行在上述存储装置所存储的处理；和第二步骤，对于上述多个频谱数据，分别从上述存储装置读出SEE数和各能量群的总通量，将它们代入到表示上述多个频谱数据各自的SEE数的联立方程式中，该SEE数由表示上述多个频谱数据各自的各能量群的总通量的矩阵元素和表示各能量群的SEE截面积的矢量之积来表示，由此，算出上述各能量群的SEE截面积，并存储到上述存储装置。