[发明专利]采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容无效
| 申请号： | 200510002224.7 | 申请日： | 2005-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN1649166A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;雷啸锋;方杰;刘理天;李志坚 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L29/00 | 分类号： | H01L29/00;H01L27/00;H01G5/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了属于半导体器件范围的一种采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容。在高阻硅衬底上覆盖一层热氧化层，其上是厚度为0.15～3.0μm下极板金属层，在中部的下极板4上为绝缘介质层，牺牲层将上极板支撑在下极板的两边的金属层上，使微机械可变电容上极板和下电极的间距为1～4μm。该上极板采用弯曲极板形状，厚度为0.3～3.0μm，并通过弹性系数较低的细梁结构与牺牲层支撑梁连接。该可变电容的工艺流程和传统可变电容相同，并且机械性能均与传统可变电容基本相当，而电容值调节范围优于传统微机械可变电容。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 弯曲 极板 实现 电容 调节 范围 微机 可变电容 | ||
【主权项】：
1.一种采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容，其特征在于：在高阻n型或p型硅衬底(1)上覆盖一层热氧化层(2)，其上是作可变电容下极板(4)的金属层，在中部的可变电容下极板(4)上为绝缘介质层(3)，牺牲层(5)在可变电容下极板(4)两边的金属层上，将上极板(6)支撑在下极板(4)的两边的金属层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510002224.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自然通风型电梯轿厢
- 下一篇：纸浆工艺品及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
