[发明专利]一种封装基板的制造方法有效
申请号: | 200510002346.6 | 申请日: | 2005-01-17 |
公开(公告)号: | CN1808701A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | 翁义堂;林维新;何信芳 | 申请(专利权)人: | 南亚电路板股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60;H05K3/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 董惠石 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种封装基板的制造方法,其利用两次的电镀制程分别完成基板上、下表面镀金区域的镍金电镀,且在电镀之前,铜层导线上的待镀金区域先由防焊阻剂定义出来,然后再进行镍金电镀,因此电镀的镍金层不会与防焊阻剂重叠,如此可以避免镍金层与防焊阻剂之间附着性不佳等问题发生,由此提高封装基板产品的可靠度。 | ||
搜索关键词: | 一种 封装 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种封装基板的制造方法,包含有下列步骤:提供一基板,并于其上形成通孔;于该基板的上、下表面以及该通孔的内壁上形成一第一导电层;进行一微影以及蚀刻制程,将该第一导电层于该基板的上表面定义成第一导线图案,于该基板的下表面定义成第二导线图案,且该第一导线图案与该第二导线图案经由该通孔构成电连接;于该基板的上、下表面覆盖一防焊阻剂,且该防焊阻剂填满该通孔;于该防焊阻剂中形成一第一开口以及一第二开口,其中该第一开口暴露出部分该第一导线图案,而该第二开口暴露出部分该第二导线图案;于该基板的上表面形成一第二导电层,且该第二导电层覆盖该防焊阻剂以及该第一开口,并与该第一导线图案接触;于该第二导电层上覆盖一第一绝缘层;以及于该第二开口暴露出的部分该第二导线图案上电镀一第三导电层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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