[发明专利]一种氧化锌材料的化学刻蚀方法无效
| 申请号： | 200510002695.8 | 申请日： | 2005-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1644764A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郑浩;杜小龙;薛其坤;顾长志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/14;C23F1/16 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌材料的化学刻蚀方法，该方法包括以下步骤：首先制作氧化锌材料的掩模，然后通过三氯化铁水溶液或含三氯化铁的酸溶液进行刻蚀。上述刻蚀方法中，由于采用三氯化铁溶液作为刻蚀剂，因此可保证刻蚀表面平整，并且只需改变三氯化铁溶液的浓度，就可以在保证刻蚀表面平整的前提下，得到不同的刻蚀速率，操作非常简单；而且，还可通过控制刻蚀时间来控制刻蚀深度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 材料 化学 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氧化锌材料的化学刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：首先制作氧化锌材料的掩模，然后通过三氯化铁水溶液或含三氯化铁的酸溶液进行刻蚀。
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