[发明专利]压电元件及其制造方法、以及喷墨头和喷墨式记录装置

摘要

本发明提供压电元件及其制造方法、以及使用该压电元件的喷墨头及喷墨式记录装置。其中，压电元件(20)的压电体薄膜(3)中包含的铅量比化学计量成分少。即，由用Pb_(1－x)(Zr_(1－s)Ti_s)O₃(0＜s＜1)表示的钛锆酸铅、或将A作为进入钙钛矿型晶体结构的A位置的添加金属离子，将B作为进入钙钛矿型晶体结构的B位置的添加金属离子，用(Pb_(1－x－y)A_y)(Zr_(1－s－t)Ti_sB_t)O₃(0＜s＜1、0＜t＜1－s)表示的钛锆酸铅类氧化物构成压电体薄膜(3)，表示Pb组成的缺损量的x的值大于0而小于等于0.15。

主权项

1、一种压电元件，具有按照第一电极膜、压电体薄膜、第二电极膜这样的顺序层叠构成的层叠体，其特征在于：所述压电体薄膜是由呈钙钛矿型晶体结构的氧化物、化学组成式用Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0＜s＜1)表示的钛锆酸铅、或将A作为进入钙钛矿型晶体结构的A位置的添加金属离子，将B作为进入钙钛矿型晶体结构的B位置的添加金属离子，用(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(0＜s＜1、0＜t＜1-s)表示的钛锆酸铅类氧化物构成，在所述钛锆酸铅及钛锆酸铅类氧化物的化学组成式中，表示化学计量组成中的Pb组成的缺损量的x的值大于0而小于等于0.15。