[发明专利]位移检测装置、位移测量装置和固定点检测装置

摘要

本发明提供位移检测装置、位移测量装置和固定点检测装置能够高精确度地检测固定点或测量位移。该位移检测装置包括用于发射光束的光源，提高从光源发射的光束的消光比至不小于20dB的消光比转换单元，用于聚焦具有通过消光比转换单元的光束的聚焦透镜，传送通过聚焦透镜聚焦的光束的偏振保持型光纤，安装到测量目标的衍射光栅，从而被辐射并衍射通过光纤传送的光束；接收被衍射光栅衍射的光束的光接收单元，使其偏振轴与光纤的光轴或垂直正交该光轴的轴一致，使具有通过消光比转换装置提高至不小于20dB的消光比的通过聚焦透镜聚焦的光束进入光纤，通过接收衍射光束的量的水平，该光接收单元适于检测测量目标的位移。

主权项

1、一种位移检测装置，其包括：用于发射光束的光源；用于提高从该光源发射的光束的消光比至不小于20dB的消光比转换装置；用于聚焦具有通过该消光比转换装置提高至不小于20dB的消光比的光束的聚焦透镜；用于传送通过该聚焦透镜聚焦的光束的偏振保持型光纤；安装到测量目标的衍射光栅，从而被辐射并衍射通过该光纤传送的光束；以及用于接收被该衍射光栅衍射的光束的光接收装置；其中使具有通过该消光比转换装置提高至不小于20dB的消光比的通过该聚焦透镜聚焦的光束进入该光纤，使其偏振轴与该光纤的光轴或垂直正交该光轴的轴一致；通过接收该衍射光束的量的水平，该光接收装置适于检测该测量目标的位移。