[发明专利]用于电镀浴的添加剂无效
申请号: | 200510003975.0 | 申请日: | 2005-01-14 |
公开(公告)号: | CN1670259A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | 小林宏充;仁藤浩久;川俣大雅 | 申请(专利权)人: | 旭电化工业株式会社 |
主分类号: | C25D3/02 | 分类号: | C25D3/02;H01L21/321 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春琦 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种电镀浴添加剂和使用所述添加剂的电镀浴,该电镀浴含有羟基链烷磺酸,并且即使将其应用于电子部件如半导体器件时,也不会出现诸如电路与电路的绝缘变得有缺陷之类的问题。电镀浴添加剂含有作为主要组分的羟基链烷磺酸,且具有的碱金属相对于所述链烷磺酸的含量低于0.05质量%。电镀浴在其中结合有所述的添加剂。 | ||
搜索关键词: | 用于 电镀 添加剂 | ||
【主权项】:
1.一种含有羟基链烷磺酸作为主要组分的电镀浴添加剂,其特征在于,相对于所述羟基链烷磺酸,碱金属的含量低于0.05质量%。
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