[发明专利]用于电镀浴的添加剂无效

专利信息
申请号: 200510003975.0 申请日: 2005-01-14
公开(公告)号: CN1670259A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 小林宏充;仁藤浩久;川俣大雅 申请(专利权)人: 旭电化工业株式会社
主分类号: C25D3/02 分类号: C25D3/02;H01L21/321
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 柳春琦
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种电镀浴添加剂和使用所述添加剂的电镀浴,该电镀浴含有羟基链烷磺酸,并且即使将其应用于电子部件如半导体器件时,也不会出现诸如电路与电路的绝缘变得有缺陷之类的问题。电镀浴添加剂含有作为主要组分的羟基链烷磺酸,且具有的碱金属相对于所述链烷磺酸的含量低于0.05质量%。电镀浴在其中结合有所述的添加剂。
搜索关键词: 用于 电镀 添加剂
【主权项】:
1.一种含有羟基链烷磺酸作为主要组分的电镀浴添加剂,其特征在于,相对于所述羟基链烷磺酸,碱金属的含量低于0.05质量%。
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