[发明专利]功能液供给装置、描绘装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备无效

专利信息
申请号: 200510004034.9 申请日: 2005-01-10
公开(公告)号: CN1636746A 公开(公告)日: 2005-07-13
发明(设计)人: 林高之;小野健一 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/175 分类号: B41J2/175;G02B5/20;G02F1/1335;G09F9/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种功能液供给装置,是向搭载于滑架(63)上的功能液滴喷头(41)供给功能液的功能液供给装置(4),具备:功能液罐(91);将从功能液罐(91)导入1次室(172)的功能液通过2次室(173)向功能液滴喷头(41)供给、并且将构成2次室(173)的1个面且朝向大气的圆形的隔膜(175)所受到的大气压作为基准调整压力,对连通1次室(172)和2次室(173)的连通流路进行开闭的压力调整阀(161);和借助压力调整阀(161)而连接功能液罐(91)及功能液滴喷头(41)的连接管道(72),其中功能液罐(41)及压力调整阀(161)被搭载在滑架(63)上。其结果,可以确保功能液罐(91)的设置自由度,并且可以缩短功能液流路。
搜索关键词: 功能 供给 装置 描绘 光学 制造 方法 电子设备
【主权项】:
1.一种功能液供给装置,是向搭载于滑架上的功能液滴喷头供给功能液的功能液供给装置,其特征是,具备:供给所述功能液的功能液罐;将从所述功能液罐导入1次室的功能液通过2次室向功能液滴喷头供给,并且将构成所述2次室的1个面且朝向大气的圆形的隔膜所受到的大气压作为基准调整压力,对连通所述1次室和所述2次室的连通流路进行开闭的压力调整阀;和通过所述压力调整阀连接所述功能液罐及所述功能液滴喷头的连接管道,其中,所述功能液罐及所述压力调整阀被搭载在所述滑架上。
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