[发明专利]应用薄膜体声波共振器的感测装置无效
| 申请号： | 200510004177.X | 申请日： | 2005-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1800797A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 吴宗颖;邢泰刚 | 申请（专利权）人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种应用薄膜体声波共振器的感测装置，包括一薄膜体声波共振结构(FBAR)，具有一体声波波速值(Vb)以及与其相对应的一共振频率值(f)，其中，薄膜体声波共振结构受到外力而产生形变，改变体声波波速值，相对应地改变共振频率值，得到一频率偏移量，借由计算频率偏移量即可推得外力的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 薄膜 声波 共振器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种感测装置，用以感测一外力，该感测装置包括一薄膜体声波共振结构，具有一体声波波速值(Vb)以及与其相对应的一共振频率值(f)，其中，该薄膜体声波共振结构受到该外力而产生形变，改变该体声波波速值，相对应地改变该共振频率值，得到一频率偏移量，借由计算该频率偏移量即可推得该外力的大小。
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