[发明专利]用于自动测试设备的绝缘硅通道结构有效
申请号: | 200510004262.6 | 申请日: | 2005-01-04 |
公开(公告)号: | CN1649120A | 公开(公告)日: | 2005-08-03 |
发明(设计)人: | 爱德华·奥斯特塔格 | 申请(专利权)人: | 泰拉丁公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R1/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L27/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 黄启行;谢丽娜 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 公开了一种用于自动测试设备中的通道结构。所述通道结构包括模式生成电路和定时电路,定时电路响应于所述模式生成电路以生成定时信号。格式化电路,耦合于所述定时电路的输出端,以生成脉冲信号波形。管脚电子电路,响应于所述格式化电路,用于连接所述自动测试设备到一个被测装置,其中所述模式生成电路,所述定时电路,所述格式化电路和所述管脚电子电路被形成于同一集成电路上。 | ||
搜索关键词: | 用于 自动 测试 设备 绝缘 通道 结构 | ||
【主权项】:
1.一种用于自动测试设备中的通道结构,所述通道结构包括:模式生成电路;定时电路,其响应于所述模式生成电路以生成定时信号;格式化电路,耦合于所述定时电路的输出端,以生成脉冲信号波形;和管脚电子电路,响应于所述格式化电路,用于连接所述自动测试设备到被测装置,其中,所述模式生成电路、定时电路、格式化电路和管脚电子电路形成于同一集成电路上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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