[发明专利]图形描绘装置无效
申请号: | 200510004307.X | 申请日: | 2005-01-14 |
公开(公告)号: | CN1652028A | 公开(公告)日: | 2005-08-10 |
发明(设计)人: | 水端稔;小八木康幸;井上正雄 | 申请(专利权)人: | 大日本网目版制造株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高龙鑫;潘培坤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种图形描绘装置(1),包括:保持基板(9)的平台单元(3);在X方向上移动平台单元(3)的平台移动机构(2);水银灯(512);具有光闸开口的光闸;具有多个掩模组开口的掩模组;在X方向上移动光闸的X方向移动机构,扫描通过了光闸开口和掩模组开口的光被引导到的光照射区域而描绘图形。在图形描绘装置(1)中,在图形的描绘开始点附近和描绘结束点附近,按照与平台单元(3)的移动速度相等的移动速度,在X方向上移动光闸,改变光照射区域的长度,调整图形的端部的累积光量,使之与图形上的其他部位的累积光量相等。 | ||
搜索关键词: | 图形 描绘 装置 | ||
【主权项】:
1.一种图形描绘装置,在基板上的感光材料上描绘图形,其特征在于,具有:光源;保持部,其保持来自上述光源的光被引导到的基板;遮光机构,其通过局部遮挡来自上述光源的光,从而在上述基板上的感光材料上,向排列在第一方向上的多个照射区域引导光;照射区域移动机构,其按一定的移动速度,相对于上述感光材料,向垂直于上述第一方向的第二方向相对移动上述多个照射区域;遮光机构控制部,其通过控制上述遮光机构,在上述感光材料上的描绘开始点附近,使各照射区域的上述第二方向上的端部与上述描绘开始点一致,并按照上述移动速度增大上述各照射区域的上述第二方向的长度,在描绘结束点附近,使各照射区域的上述第二方向上的端部与上述描绘结束点一致,并按照上述移动速度缩小上述各照射区域的上述第二方向的长度,上述遮光机构具有:光闸;形成了多个光通过区域的掩模;通过相对于上述掩模相对移动上述光闸来改变上述多个照射区域的各自的上述第二方向的长度的机构。
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