[发明专利]生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法无效
| 申请号： | 200510004371.8 | 申请日： | 2000-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1632553A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 宫﨑正次;德永博之;藤原雅树;山西永吏子;德野吉宣 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327;G01N27/403;G01N27/333 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法。该薄膜电极形成方法，在绝缘性基板的表面上形成薄膜电极，其特征在于具有：在真空气氛中，通过使被激励的气体冲击上述绝缘性基板的表面，使上述绝缘性基板的表面成为粗糙面的粗糙面形成工序，以及然后在成为粗糙面的上述绝缘性基板的表面上形成由导电性物质构成的作为薄膜电极的导电层的导电层形成工序。 | ||
| 搜索关键词： | 生物 传感器 薄膜 电极 形成 方法 定量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电极形成方法，在绝缘性基板的表面上形成薄膜电极，其特征在于具有：在真空气氛中，通过使被激励的气体冲击上述绝缘性基板的表面，使上述绝缘性基板的表面成为粗糙面的粗糙面形成工序，以及然后在成为粗糙面的上述绝缘性基板的表面上形成由导电性物质构成的作为薄膜电极的导电层的导电层形成工序。
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