[发明专利]在有源元件之上具有连接焊盘的半导体集成电路有效
申请号: | 200510004694.7 | 申请日: | 2005-01-21 |
公开(公告)号: | CN1645583A | 公开(公告)日: | 2005-07-27 |
发明(设计)人: | 前田润 | 申请(专利权)人: | 川崎微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/66;H01L23/48;H01L23/52 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;樊卫民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种在有源元件之上设置有连接焊盘的半导体集成电路。连接焊盘分成检测区和键合区,且分别在各个区域下面形成加强结构。使用比用于形成键合区下面的加强结构的布线层数少的布线层数来形成检测区下面的加强结构。结果,有效地利用检测区下面的布线层来形成用于实现集成电路的逻辑功能的引线。 | ||
搜索关键词: | 有源 元件 之上 具有 连接 半导体 集成电路 | ||
【主权项】:
1.一种在半导体衬底的表面上形成的具有逻辑功能的半导体集成电路,包括:在半导体衬底的表面上的有源元件形成区,用于形成多个有源元件;在半导体衬底的表面之上的多层布线层;连接焊盘,形成在多层布线层之上并至少部分地设置在有源元件形成区之上,连接焊盘分成用于检测的检测区和用于引线键合的键合区;在检测区和有源元件形成区之间的第一加强结构,通过使用多层布线层的至少一层来形成,使得多层布线层的另外一层或多层能够用于形成第一加强结构下面的用于实现半导体集成电路的逻辑功能的电路线;和在键合区和有源元件形成区之间的第二加强结构,通过使用多层布线层的所述至少一层和多层布线层的所述至少一层下面的多层布线层的附加一层来形成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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