[发明专利]在有源元件之上具有连接焊盘的半导体集成电路有效

专利信息
申请号: 200510004694.7 申请日: 2005-01-21
公开(公告)号: CN1645583A 公开(公告)日: 2005-07-27
发明(设计)人: 前田润 申请(专利权)人: 川崎微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/66;H01L23/48;H01L23/52
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 钟强;樊卫民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明公开了一种在有源元件之上设置有连接焊盘的半导体集成电路。连接焊盘分成检测区和键合区,且分别在各个区域下面形成加强结构。使用比用于形成键合区下面的加强结构的布线层数少的布线层数来形成检测区下面的加强结构。结果,有效地利用检测区下面的布线层来形成用于实现集成电路的逻辑功能的引线。
搜索关键词: 有源 元件 之上 具有 连接 半导体 集成电路
【主权项】:
1.一种在半导体衬底的表面上形成的具有逻辑功能的半导体集成电路,包括:在半导体衬底的表面上的有源元件形成区,用于形成多个有源元件;在半导体衬底的表面之上的多层布线层;连接焊盘,形成在多层布线层之上并至少部分地设置在有源元件形成区之上,连接焊盘分成用于检测的检测区和用于引线键合的键合区;在检测区和有源元件形成区之间的第一加强结构,通过使用多层布线层的至少一层来形成,使得多层布线层的另外一层或多层能够用于形成第一加强结构下面的用于实现半导体集成电路的逻辑功能的电路线;和在键合区和有源元件形成区之间的第二加强结构,通过使用多层布线层的所述至少一层和多层布线层的所述至少一层下面的多层布线层的附加一层来形成。
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