[发明专利]表面处理方法以及表面处理设备有效

专利信息
申请号: 200510004778.0 申请日: 1999-09-29
公开(公告)号: CN1654706A 公开(公告)日: 2005-08-17
发明(设计)人: 枥下佳己;藤原好雄;浅贝义宏;太田垣谦 申请(专利权)人: 株式会社新王磁材
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458;C23C14/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 郭小军
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述底笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在于处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或公共旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。
搜索关键词: 表面 处理 方法 以及 设备
【主权项】:
1.一种对一系列制品进行表面处理的方法,包括下述步骤:在一个处理室中对制品进行表面处理的步骤,同时在间隔的状态使所述制品围绕各自的轴线旋转,其中所述表面处理是在一个烧制品上的汽相淀积,所述支承装置包括板状元件,所述板状元件可以在长度方向上开闭折合,并且所述板状元件形成了一系列狭部,每个狭部在打开状态下的长度对应于所述一系列制品中的每一个制品的内直径。
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