[发明专利]工厂生产加工系统及其操作方法无效
| 申请号： | 200510005004.X | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1815337A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 童耀毅;蔡毓仁;李威良;张清祥;叶松兴 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G02F1/133;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈星 |
| 地址： | 台湾省台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种工厂生产加工系统，至少包括传输系统、两个沉积设备组、蚀刻设备组、光刻工艺设备组与两个光阻剥除设备组。传输系统具有多条传输路线，这些传输路线至少包括两条彼此相连的环形路线，且这两条环形路线相连之处为公共路线。这些沉积设备组与光阻剥除设备组分别设置于这些环形路线上，而蚀刻设备组设置于公共路线上，且光刻工艺设备组设置于两个沉积设备组之间的两条环形路线上。本发明之工厂生产加工系统共同结合了群组式及连续式生产加工系统的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 工厂 生产 加工 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种工厂生产加工系统，其特征是包括：传输系统，具有多条传输路线，其中这些传输路线至少包括彼此相连的第一环形路线以及第二环形路线，且上述第一、第二环形路线相连之处为公共路线；第一沉积设备组，设置于上述第一环形路线上；蚀刻设备组，设置于上述公共路线上；第二沉积设备组，设置于上述第二环形路线上；光刻工艺设备组，设置于上述第一沉积设备组以及第二沉积设备组之间的第一环形路线以及第二环形路线上；第一光阻剥除设备组，设置于上述第二环形路线上；以及第二光阻剥除设备组，设置于上述第一环形路线上。
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