[发明专利]风机过滤单元有效
申请号: | 200510005068.X | 申请日: | 2005-01-31 |
公开(公告)号: | CN1654891A | 公开(公告)日: | 2005-08-17 |
发明(设计)人: | 泽田朋之;高桥富行;大久保温 | 申请(专利权)人: | 富士电机系统株式会社 |
主分类号: | F24F11/02 | 分类号: | F24F11/02;F24F7/06 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明以低成本提供一种大规模的风机过滤单元(FFU),其构成为,例如对设置在超净室内的多个FFU的各个电机(例如同步电机)(3A~3C),分别共用地设置整流电路(21)和运转控制电路(22),而且单独地设置逆变器(23A~23C)、电机控制电路(24A~24C)和检测部(25A~25C),由此减少电路和布线的数量,可加大规模而不增加成本。 | ||
搜索关键词: | 风机 过滤 单元 | ||
【主权项】:
1.一种风机过滤单元,其特征在于:分别设置在要设置的多个风机过滤单元上的各个电机·风扇的驱动电路,与各个电机·风扇相对应地分别设置,对于多个的所述驱动电路共通地设置向该驱动电路供给电源的整流电路和进行所述电机·风扇的运转停止·速度设定·异常处理的运转控制电路。
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