[发明专利]金属化聚酰亚胺膜无效
申请号: | 200510005226.1 | 申请日: | 2005-02-01 |
公开(公告)号: | CN1669788A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | 相田正之 | 申请(专利权)人: | 三菱伸铜株式会社 |
主分类号: | B32B15/08 | 分类号: | B32B15/08;H01L21/60;H05K1/05;C23C14/20 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种金属化聚酰亚胺膜,具有以下结构:具有第1面和第2面的聚酰亚胺膜;在所述聚酰亚胺膜的第1面上以0.3~15mg/m2的厚度附着从Mo、Cr、Ni、Si、Fe及Al中选出的1种、2种或2种以上元素而形成的中间层;在所述中间层上形成的由铜或铜合金构成的导电层;在所述聚酰亚胺膜的第2面上以5~300nm的厚度附着从氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化锡、氧化铟、氟化镁、氧化镁、铝及铟锡氧化物(ITO)中选出的1种、2种或2种以上的元素而形成的氧·水分遮蔽膜。 | ||
搜索关键词: | 金属化 聚酰亚胺 | ||
【主权项】:
1.一种金属化聚酰亚胺膜,具有以下结构:具有第1面和第2面的聚酰亚胺膜;在所述聚酰亚胺膜的第1面上以0.3~15mg/m2的厚度附着从Mo、Cr、Ni、Si、Fe及Al中选出的1种、2种或2种以上元素而形成的中间层;在所述中间层上形成的由铜或铜合金构成的导电层;在所述聚酰亚胺膜的第2面上以5~300nm的厚度附着从氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化锡、氧化铟、氟化镁、氧化镁、铝及铟锡氧化物(ITO)中选出的1种、2种或2种以上元素而形成的氧·水分遮蔽膜。
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