[发明专利]成分分析方法及成分分析装置

摘要

在本发明的成分分析方法和成分分析装置中，通过向靠近被分析对象物体配置的大气压等离子体源2供给氦气，同时由电源4提供高频电力而产生等离子体5，使被等离子体5照射的被分析对象物体发光。该光通过光学纤维6被导入滤光器7、光电二极管8而进行光电变换。进行了光电变换的信号再被送入控制装置9，由控制装置9判定被分析对象物体中是否含有特定元素。

主权项

1、成分分析方法，其特征在于，具有设定在大气压下对特定元素照射等离子体时的波长和发光强度的关系的设定工序；根据前述设定工序中所设定的关系，选定具有发光强度的峰值的特定的波长的选定工序；在大气压下向被分析对象物体照射等离子体，在由前述选定工序选定的波长下，测定前述被分析对象物体的发光强度的检测工序；将在前述检测工序中测得的发光强度和前述设定工序中的波长的发光强度相比较，判定前述被分析对象物体中有无含有前述元素的判定工序。