[发明专利]制作液晶显示器的薄膜晶体管的方法有效
| 申请号： | 200510005961.2 | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1645226A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈宏德 | 申请（专利权）人： | 广辉电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L29/786;H01L21/027;G03F7/20;H01L27/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制造液晶显示器的薄膜晶体管的方法。该方法先依次在衬底上沉积透明导电层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层以及第二金属层。接着，再进行第一微影蚀刻工艺去除部分第二金属层、半导体层、第一绝缘层、第一金属层以及透明导电层，以形成源极电极、漏极电极以及通道区域。然后，沉积第二绝缘层，并进行第二微影蚀刻工艺去除部分第二绝缘层，以形成多个接触孔。最后，沉积第三金属层使源极电极以及漏极电极与其它接线电连接，并进行第三微影蚀刻工艺以去除部分第三金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 液晶显示器 薄膜晶体管 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制造液晶显示器的薄膜晶体管的方法，该方法包含：提供一个衬底；依次在该衬底上沉积一个透明导电层、第一金属层、第一绝缘层、一个半导体层以及第二金属层；进行第一微影蚀刻工艺去除部分该第二金属层、该半导体层、该第一绝缘层、该第一金属层以及该透明导电层，以形成一个源极电极、一个漏极电极以及一个通道区域；沉积第二绝缘层，并进行第二微影蚀刻工艺去除部分该第二绝缘层，以形成多个接触孔；以及沉积第三金属层使该源极电极以及该漏极电极与其它接线电连接，沉积一个保护层用来保护该第三金属层，以及进行第三微影蚀刻工艺以去除部分该第三金属层以及该保护层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广辉电子股份有限公司，未经广辉电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510005961.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：处理任意空间曲面分布荷载的网格荷载法
- 下一篇：易拉罐物流安全试验仪
