[发明专利]薄膜磁头的晶圆有效
申请号: | 200510006676.2 | 申请日: | 2005-01-26 |
公开(公告)号: | CN1811920A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
发明(设计)人: | 藤井隆司;饭岛淳 | 申请(专利权)人: | 新科实业有限公司;新科技研有限公司 |
主分类号: | G11B5/39 | 分类号: | G11B5/39;B24B49/10 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 香港新界葵涌葵*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本发明公开了一种配置研磨量传感器,以能缩小长形条的切断间隙部的面积的晶圆。在晶圆上搭载了一列以上、通过层叠多层膜而形成的、成为磁头的部分即磁头形成部(3a、4a)。所述列包括沿成为所述磁头的记录媒体相对面的面、即露出该列的长度方向的侧面的ABS形成面(G)方向排列的多个所述磁头形成部(3a、4a)和在该磁头形成部(3a、4a)之间设置的切断间隙部(4a、4b)。所述切断间隙部(4a)具有至少一个在所述ABS形成面(G)上形成的、随研磨而电阻变化的阻抗膜(32a);与具有所述阻抗膜(32a)的所述切断间隙部(4a)相邻的所述磁头形成部(3a、4a),其一端通过设于所述阻抗膜(32a)之间的电连接部件(35a、35b)电连接到所述阻抗膜(32a),另一端设有向所述晶圆的层叠部顶面沿层叠方向延伸的凸起(31a、31b)。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 磁头 | ||
【主权项】:
1.一种晶圆,其上搭载了一列以上、通过层叠多层膜而形成的成为磁头的部分即磁头形成部,其特征在于:所述列包括沿成为所述磁头的记录媒体相对面的面、即露出该列的长度方向的侧面的ABS形成面方向排列的多个所述磁头形成部和在该磁头形成部之间设置的切断间隙部;所述切断间隙部具有至少一个在所述ABS形成面上形成的、随研磨而电阻变化的阻抗膜;与具有所述阻抗膜的所述切断间隙部相邻的所述磁头形成部,其一端通过设于所述阻抗膜之间的电连接部件电连接到所述阻抗膜,另一端设有向所述晶圆的层叠部顶面沿层叠方向延伸的凸起。
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